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Development of Parametric Material, Energy, and Emission Inventories for Wafer Fabrication in the Semiconductor Industry
Autores:
David T. Allen, George A. Kenig, Jean-Philippe Latjrent, David E. Dyert, Cynthia F. Murphy
Localización:
Environmental science & technology
,
ISSN
0013-936X,
Nº. 23, 2003
,
págs.
5373-5382
Idioma:
inglés
DOI
:
10.1021/es034434g
Texto completo no disponible
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