Studies of 2.45 GHz Microwave Induced Plasma Abatement of CF[sub 4]

• Autores: Marilena T. Radoiu
• Localización: Environmental science & technology, ISSN 0013-936X, Nº. 17, 2003, págs. 3985-3988
• Idioma: inglés
• DOI: 10.1021/es0263846
• Texto completo no disponible (Saber más ...)